環境廢氣處理粒子物質的來源主要有三個方面。

　　(1) 來自自然界的陸地上。沙漠地區及夾帶砂粒的風暴，氣顆粒直徑大于0.3μm。在自然界所產生的臭氧和碳氫化合物之間，因光化學反應所產生的微粒，其直徑通常小于0.2μm，火山爆發所噴出的微粒及氣體，特別是SO2氣體，由于光化學及氧化作用，最終變為浮游于大氣中的氣溶膠。

　　(2) 來自自然界的海洋。由于海洋水分的蒸發而帶來的鹽類，其直徑通常大于0.3μm。

　　(3) 人為產生的粒子。由于燃燒所產生的固體顆粒煙，氮氧化物和碳氫化合物之間，因光化學作用所產生的顆粒，氣粒徑小于0.2μm。

　　環境廢氣處理粒子物質按其大小通常分類為：處理粉塵(直徑100μm以上)、細粒粉塵(直徑小于100μm)、霧(0.1~10μm)、煙(0.001~1μm)。煙是在冷凝、升華或化學反應時形成的。霧是由液滴粒子在冷凝時形成的，霧的直徑比煙大。