在目前的處理方法有附法、吸收法、燃燒法、冷凝法、生物法等。選用凈化方法時，應根據具體情況優先選用費用低、耗能少、無二次污染的方法，盡量做到化害為利，充分回收利用成分和余熱。

　　相對于工業廢氣多數情況下，石油化工業因排氣濃度高，采用冷凝、吸收、直接燃燒等方法;涂料施工、印刷等行業因排氣濃度低，采用吸附、催化燃燒等方法。 而目前在廢氣處理設備中低溫等離子廢氣凈化器作為高新廢氣治理技術，具有操作安全、運行成本低廉、無二次污染的特點，對于惡臭氣體的處理均可達到97%以上。

低溫等離子廢氣凈化過程

　　低溫等離子廢氣處理設備的工作原理是通過特制的激發光源產生不同能量的光量子，利用惡臭物質對該光量子的強烈吸收，在大量攜能光量子的轟擊下使惡臭物質分子解離和激發→光量子分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧→臭氧在該光量子的作用下可產生大量的新生態氫、活性氧和羥基氧等活性基團，一部分惡臭物質也能與活性基團反應，最終轉化為CO2和H2O等無害物質，從而達到徹底去除惡臭氣體的目的。

　　低溫等離子廢氣凈化器具有運行穩定可靠、投資省、運行成本低、維修方便等特點，適用于大風量、低濃度的廢氣治理，是目前國內治理有機廢氣較成熟、實用的方法。最終排放標準大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)《惡臭污染物排放標準》(GB14554-93)《大氣環境質量標準》(GB3095)。