目前，廢氣處理的主要方法有燃燒法、吸收法、吸附法、生物法、光催化法、低溫等離子法等。
 燃燒法 
   燃燒法是基于廢氣中有機化合物可以燃燒氧化的特性，其目的是通過燃燒將廢氣中可氧化的組分轉化為無害物質，在廢氣中含純碳氫化合物的情況下，即轉化為co2和h2o。燃燒法處理有機廢氣的方法主要為：直接燃燒法、熱力燃燒法、蓄熱式燃燒法和催化燃燒法。
 吸收法 
   吸收凈化法是廢氣治理中一種重要的常用的方法，它是利用廢氣中各混合組分在選定的吸收劑中溶解度的不同，或其中一種或多種組分與吸收劑中活性組分發生化學反應，達到將有害物從廢氣中分離出來、凈化廢氣目的的一種方法。很多工業廢氣可用吸收凈化法治理,如含SO2、H2S、HF、鹵代烴等廢氣以及含惡臭物廢氣。
吸附法 
  吸附法屬于一種傳質過程，物質內部的分子和周圍分子有互相吸引的引力，但物質表面的分子，其中相對物質外部的作用力沒有充分發揮，所以液體或固體物質的表面可以吸附其他的液體或氣體，尤其是表面面積很大的情況下，這種吸附力能產生很大的作用，所以工業上經常利用大面積的物質進行吸附，使其中的污染物質被吸著于固體表面而分離的方法。吸附可分為物理吸附、化學吸附和生物吸附等。物理吸附劑和吸附質之間在分子間力作用下產生的。不產生化學變化。而化學吸附則是吸附劑和吸附質之間發生化學反應，生成化學鍵引起的吸附，因此化學吸附選擇性較強。另外，在生物作用下也可以產生物吸附。
吸附再生法 
  低溫加熱再生法。對于吸附沸點較低的低分子碳氫化合物和芳香族有機物的  
飽和炭，一般用 100～200℃蒸汽吹脫使炭再生，再生可在吸附塔內進行。脫附后的有機物蒸汽經冷凝后可回收利用。常用于氣體吸附的活性炭再生。
生物法     
生物凈化技術的實質是附著在濾料介質中的微生物在適宜的環境條件下，利用廢氣中的有機成分作為碳源和能源，維持其生命活動,并將有機物分解為二氧化碳、水、無機鹽和生物質等無害的物質。  生物法是一種經濟有效環境友好的VOCs治理方法，主要適用于低濃度有機廢氣的治理。
光催化技術     
光催化技術是一種利用新型的復合納米高科技功能材料的技術。現今的光催化劑以TiO2 為主，當紫外線光源在反應器內部持續照射時，依據半導體的特性，其價帶上的電子吸收光子能量后躍遷到導帶上，電子—空穴對可將吸附在催化劑表面的羥基或水還原為(HO•)[3]，同時將氧分子還原為超氧陰離子(•O2-)，它也可以與水中無機離子或部分有機物反應生成(OH•)，羥基自由基具有較高的氧化還原電位，能無選擇地將水中難降解的污染物氧化為水、二氧化碳等無機小分子。
低溫等離子法  
低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。